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超高純度窒素ガスの精製方法

平成28年1月13日更新

本件発明内容の詳細については、特許情報プラットフォーム(J-PlatPat) で入手可能な(公開)特許公報を参照下さい。
発明の名称超高純度窒素ガスの精製方法
要約 [課題] 本発明は、ガスボンベを使用せずに99.999%以上の超高純度窒素ガスを製造することを課題とする。
[解決手段] 室内の空気をコンプレッサーにより5〜8気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第1の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第2の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第3の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法であり、前記第3の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素・水除去管を通過させる工程が含まれることが好ましく、前記第2の工程後で、第3の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれることが好ましい。
出願番号2011-258366出願日2011年11月26日
公開番号2013-112547公開日2013年6月10日
登録番号5852422登録日2015年12月11日
出願人独立行政法人農業環境技術研究所
発明者須藤重人

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