【表題】 金属酸化物半導体式においセンサを用いた臭気測定方法について

【著者名】 江原勝夫
【所属】 東京工業大学高分子工学科
【発行年】 1991
【雑誌名】 PPM
【巻】 22−8
【頁】 29−39
【要約】 市販されているにおいセンサには、SnO2やZnO等金属酸化物半導体を用いたものと、水晶振動子に有機膜を密着させたセンサに分類される。(1)金属酸化物半導体においセンサ:AnO2、ZnO、FeO3、TiO3などのn-typeの半導体は、真性欠陥が浅いドナー準位を形成し、モビリティも大きいため、センサ周辺の環境変化に敏感である。また、におい分子の多くはセンサに対して還元的に反応し、電気的特性が大幅に変化する点、においセンサとして適したものといえる。センサは焼結型と薄膜型の2種類がある。焼結型センサは消費電力が150m Watt と少なく、ポータブル型においセンサとして実用化されている。
【要約者】 林 孝

[ 00/10/01 掲載 ]


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