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平成２８年１月１３日更新
| 発明の名称 | 超高純度窒素ガスの精製方法 | ||
|---|---|---|---|
| 要約 |
[課題] 本発明は、ガスボンベを使用せずに99.999%以上の超高純度窒素ガスを製造することを課題とする。 [解決手段] 室内の空気をコンプレッサーにより５〜８気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第１の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第２の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第３の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法であり、前記第３の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素・水除去管を通過させる工程が含まれることが好ましく、前記第２の工程後で、第３の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれることが好ましい。 | ||
| 出願番号 | 2011-258366 | 出願日 | 2011年11月26日 |
| 公開番号 | 2013-112547 | 公開日 | 2013年6月10日 |
| 登録番号 | 5852422 | 登録日 | 2015年12月11日 |
| 出願人 | 独立行政法人農業環境技術研究所 | ||
| 発明者 | 須藤重人 | ||
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